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基于机械-化学方法的微纳制造技术
— 史立秋著
索 书 号 ：TN304.1/8
标准编码： 978-7-121-23712-6
出版信息：电子工业出版社 2014 北京
主 题 词 ： 半导体材料 半导体材料 纳米材料 硅
中文图书
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硅表面可控自组装制造技术及仿真
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