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超大规模集成电路工艺技术
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超大规模集成电路技术:工艺评价
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超大规模集成电路工艺学
索 书 号 :73.7551/18
标准编码: 7-313-00046-4
出版信息:上海交通大学出版社 1987.10 上海
主 题 词 : 超大规模集成电路-工艺学 工艺学-超大规模集成电路
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